国内首台新一代大尺寸集成电路硅单晶生长设备成功试产

　　原标题：国内首台新一代大尺寸集成电路硅单晶生长设备成功试产

　　12 月 25 日消息，近日，由西安理工大学和西安奕斯伟设备技术有限公司共同研制的国内首台新一代大尺寸集成电路硅单晶生长设备在西安实现一次试产成功。双方共同研制的面向产业化应用的硅单晶生长成套设备按照集成电路硅单晶材料的要求，成功生长出直径 300mm，长度 2100mm 的高品质硅单晶材料。实现了采用自主研发的国产技术装备，拉制成功大尺寸、高品质集成电路级硅单晶材料的重大突破并实现产业化。